Á¤Àü±â¶õ ¹°Ã¼¿¡ ÀüÇÏ°¡ ÃàÀû-¹æÀüµÇ´Â °ÍÀ¸·Î Á¤Àü±âÀÇ ¹æÀü¿¡ ÀÇÇÑ ÀçÇØ´Â Àü°Ý,ÈÀç, Æø¹ßÀÇ ÂøÈ¿øÀÎÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ,¹æÀü¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýµÈ noise´Â ƯÈ÷ ÀÎÅÚ¸®Á¯Æ® ºôµù¿¡¼ OA, BA ±â±âÀÇ ÀüÀÚȸ·ÎÀÇ ¿Àµ¿ÀÛ,ºÎµ¿ÀÛ ¹× ÀÌ ÀÖ´Ù.(ÀüÇÏÀÇ °ø°£Àû À̵¿ÀÌ Àû¾î ÀÌ Àü·ù¿¡ ÀÇÇÑ ÀÚ°èÈ¿°ú°¡ Àü°èÈ¿°ú¿¡ ºñÇØ ¹«½ÃÇÒ Á¤µµ·Î ¾ÆÁÖ Àû´Ù)
Á¤Àü±âÀÇ ´ëÀüÇö»ó¿¡´Â ¸¶Âû´ëÀü, ¹Ú¸®´ëÀü, À¯µ¿´ëÀü, ºÐÃâ´ëÀü, Ãæµ¹´ëÀü, À¯µµ´ëÀü, ºñ¸»´ëÀü,ÀûÇÏ´ëÀü, ħ°´ëÀü, ºÎ»ó´ëÀü, µ¿°á´ëÀü µîÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀüÇÏÀÇ ºÐ¸®°¡ ´À·Á ÀüÇÏÀÇ È¯ÇÏ°¡ ¼¼È÷ ÀÌ·ç¾îÁö¸ç
+,- ·Î ´ëÀüÇÏ´Â ¹°Ã¼·Î¼, (+,-ÀÇ ±¸º°Àº ¹°Ã¼ÀÇ ´ëÀüÀû ¼ºÁú¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤)
¹ÝµµÃ¼ : ¹ÝµµÃ¼, Àý¿¬Ã¼ : Àý¿¬Ã¼, ¹ÝµµÃ¼ : Àý¿¬Ã¼
ûÁ¤±âü´Â °ÅÀÇ ´ëÀüÇÏÁö ¾ÊÀ¸³ª ±âü Áß¿¡´Â À̹°ÁúÀÌ Æ÷ÇԵǹǷΠ±âü°¡ À¯µ¿,ºÐÃâÇÒ ¶§¿¡´Â À̹°ÁúÀÌ ¸¶Âû µî¿¡ ÀÇÇØ ´ëÀüÇÏ¿© ±âü°¡ ´ëÀüÇÑ °Íó·³ º¸ÀδÙ.
¿ë±âº®°úÀÇ ¸¶Âû, ºÐ¸»°£ÀÇ Ãæµ¹, ºÐ¸»ÀÇ Æļ⠵ ÀÇÇØ Á¤Àü±â°¡ ¹ß»ýÇÏ¸ç ºÐ¸»ÀÔÀÚ°¡ ÀÛÀ»¼ö·Ï Á¤Àü±â ¹ß»ýÀÌ Å©°í ÃÖ¼ÒÂøÈ¿¡³ÊÁö°¡ ÀúÇÏÇÑ´Ù. Áï, ºÐÁø³óµµ°¡ ³ôÀ»¼ö·Ï ¹æÀüÀÌ ½±°í ¶ÇÇÑ ÂøÈ°¡ ½±´Ù.
Á¤Àü±âÀÇ ¹æÀüÀº Á¤Àü±âÀÇ Àü±âÀûÀÛ¿ë¿¡ ÀÇÇØ ÀϾ´Â
Àü¸®ÀÛ¿ëÀ¸·Î ÀϹÝÀûÀ¸·Î ´ëÀü¹°Ã¼¿¡ ÀÇÇØ Á¤Àü°è°¡ °ø±âÀÇ Àý¿¬Æı« Àü°è°µµ30(§Ç/§¯)¿¡
´ÞÇÑ °æ¿ì¿¡ ÀϾ´Â ±âüÀÇ Àü¸®Çö»óÀÌ´Ù.
Á¤Àü±â ¹æÀüÀÌ ÀϾ¸é ´ëÀü¹°Ã¼¿¡ ÃàÀûµÇ¾î ÀÖ´Â Á¤Àü±â¿¡³ÊÁö°¡ ¹æÀü¿¡³ÊÁö·Î¼
°ø°£¿¡ ¹æÃâµÇ¾î ¿, Æı«À½, ¹ß±¤, ÀüÀÚÆÄ µîÀ¸·Î ¼ÒºñµÇ¸ç, ÀÌ ¹æÀü¿¡³ÊÁö°¡
Å©¸é °¡¿¬¼º ¹°Áú¿¡ Âøȸ¦ ÀÏÀ¸Å°°í Á¤Àü±âÀåÇØ ¹× ÀçÇØÀÇ ¿øÀÎÀÌ µÈ´Ù.
¹æÀüÀÇ Á¾·ù´Â corona¹æÀü,
streamer(brush)¹æÀü, ºÒ²É¹æÀü, ¿¬¸é¹æÀüÀÌ ÀÖ´Ù.
°Ý¸®µÈ ´ëÀü±Ý¼Óü |
|
¹æÀüÀü·ù ÆÄÇü |
|
Àΰ£ÀÌ Á¤Àü±â¿¡ ÀÇÇØ °¨ÀüµÇ´Â Àü¾ÐÀº ´ëü·Î 500VÀ̸ç, À̶§ÀÇ ´©¼³Àü·ù´Â ¼ö§Ë Á¤µµÀ̳ª ÀüÀÚ±â±â´Â ÀÌÁ¤µµÀÇ Àü¾Ð¿¡µµ ¹ÝµµÃ¼°¡ Æı«µÇ°í, deviceÀÇ è¦µ¿ÀÛÀ» ÀÏÀ¸Å²´Ù.
ÀüÀÚºÎÇ° |
Æı«Àü¾Ð(V) |
ÀüÀÚºÎÇ° |
Æı«Àü¾Ð(V) |
VMOS |
30 |
C-MOS |
250 |
100 |
BIPOLAR |
380 |
|
Àå¼ð |
140 |
ECR |
500 |
MOS-IC |
150 |
680 |
Á¤Àü±âÀÇ ¹æÁö´ëÃ¥Àº Á¤Àü±âÀÇ ¹ß»ýÀ» ¾ïÁ¦ÇÏ´Â ¹æ¹ý°ú ¹ß»ýµÈ Á¤Àü±âÀÇ ½Å¼ÓÇÑ ¹æÀü ¹× µµÀüµîÀ¸·Î Á¤Àü±â¸¦ ¿ÏȽÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀÌ Ã¤¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ºÎµµÃ¼ÀÇ ´ëÀü¹æÁö¸¦ À§Çؼ »ç¿ëµÇ´Â µµÀü¼º ¼¶À¯´Â ³·Àº ÀüÀ§¿¡¼µµ ¹æÀüÀÌ ¹ß»ýÇؼ ¹æÀüÀÌ ÀϾ±â ½¬¿î ¼ºÁúÀ» ÀÌ¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. µµÀü¿¡ ÀÇÇÑ ¿ÏÈ´Â ÁÖ·Î ´ëÀü¹°Ã¼¿Í ´ëÁö°£ÀÇ Àü±âÀüµµ¿¡ ÀÇÇØ ÀÌ·ç¾îÁø´Ù.
½Ç³»½Àµµ¸¦ 60%ÀÌ»ó À¯ÁöÇÏ¸é ¹°Ã¼Ç¥¸é¿¡ ¼öºÐ¿¡ ÀÇÇÑ ¿¯Àº ÇǸ·ÀÌ »ý±â°í °ø±âÁßÀÇ CO©ü°¡ ÀÌ¿¡ ¿ëÇØµÇ¾î µµÀü¼ºÀÌ »ý°Ü Á¤Àü±â ÃàÀûÀ» ¹Ì¿¬¿¡ ¹æÁöÇÑ´Ù.
Á¢Áö¿Í º»µùÀ¸·Î µµÃ¼ÀÇ ´ëÀüÀ» ¹æÁöÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î µµÃ¼¿Í ´ëÁö¿ÍÀÇ »çÀ̸¦ Àü±âÀûÀ¸·Î Á¢¼ÓÇؼ ´ëÁö¿Í µîÀüÀ§È ÇÔÀ¸·Î½á Á¤Àü±âÀÇ ÃàÀûÀ» ¹æÁöÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. Á¢ÁöÀÇ È¿°ú´Â Á¤Àü±âÀÇ ÃàÀûÀ» ¹æÁöÇÏ°í, Á¤ÀüÀ¯µµ¸¦ ¹æÁöÇϸç, ÀüÀ§»ó½Â ¹× ¹æÀüÀÌ ¾ïÁ¦µÈ´Ù. µû¶ó¼ ¸¹Àº ¾çÀÇ ´ëÀüÀÌ ¿ì·ÁµÇ´Â °³¼Ò(¸¶Âû µî¿¡ ÀÇÇØ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Á¤Àü±â°¡ ¹ß»ýµÇ´Â ºÎºÐ ¶Ç´Â ÀåÄ¡, Á¤Àü±â°¡ ´ëÀüµÇ¾î ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ» ´Ù·®À¸·Î Ãë±ÞÇÏ´Â ¿ë±â, À̵¿½Ä ¶Ç´Â °¡¹ÝÇüÀÇ ÀåÄ¡ µî)¿¡´Â °¡´ÉÇÑ ÇÑ ±Ý¼ÓÀç·á¸¦ »ç¿ëÇÏ°í, ºÎµæÀÌÇÑ °æ¿ì¿¡´Â ´ëÀü¹æÁöó¸®µÈ °ÍÀ» »ç¿ëÇϰųª, ´ëÀü¹æÁöÁ¦¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
4. ´ëÀü¹°Ã¼ÀÇ Â÷Æó(Á¤ÀüÂ÷Æó)
´ëÀü¹°Ã¼ÀÇ Ç¥¸éÀ» ±Ý¼Ó ¶Ç´Â µµÀü¼º ¹°Áú·Î µ¤´Â °ÍÀ»
¸»Çϸç, Á¤ÀüÂ÷Æó¸¦ ½Ç½ÃÇϸé Àü±âÀû ÀÛ¿ë¾ïÁ¦¿¡ ÀÇÇÑ ´ëÀü¹æÁöÈ¿°ú, ´ëÀü¹°Ã¼ÀÇ
ÀüÀ§»ó½ÂÀÌ ¾ïÁ¦µÇ°í, ´ëÀüµÇ´Â Á¤Àü±â¿¡ ÀÇÇÑ ¿ªÇÐÇö»ó ¾ïÁ¦ ¹× ¹æÀü¾ïÁ¦È¿°ú°¡
ÀÖ´Ù.
Â÷ÆóÁ¦·Î´Â ±Ý¼ÓÁ¦ ¶Ç´Â µµÀü¼ºÀÇ Å×ÀÌÇÁ°¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
5. Á¤Ä¡½Ã°£
´ëÀü¹°Ã¼°¡ ÀÎȼº ¹°ÁúÀÌ°í Æø¹ßÀ§Çè ºÐÀ§±â¸¦ Á¶¼º ¶Ç´Â ±× °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡´Â Á¤Ä¡½Ã°£À» µÎ¾î Á¤Àü±âÀÇ ¹ß»ýÀ» ¾ïÁ¦ÇÑ´Ù.
6. Á¦Àü±â¿¡ ÀÇÇÑ ´ëÀü¹æÁö
Á¦ÀüÀº ¹°Ã¼¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀüµÈ Á¤Àü±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÁßȽÃÅ°´Â °ÍÀ¸·Î Àü¾ÐÀΰ¡½Ä, ÀÚ±â¹æÀü½Ä, ¹æ»ç¼±½ÄÀÇ °èÀü±â°¡ ÀÖ´Ù.
7. ÀÛ¾÷ÀÚÀÇ ´ëÀü¹æÁö
´ëÀüµÇ¾î ÀÖ´Â ÀÎü¿¡¼ÀÇ ¹æÀü½Ã¿¡´Â »ýüÀå¾ÖÀÇ Àü°ÝÀçÇػӸ¸ ¾Æ´Ï¶ó Æø¹ßÀ§Çè ºÐÀ§±â¿¡¼´Â Á¡È¿øÀÌ µÉ ¼öµµ ÀÖÀ¸¹Ç·Î ¼Õ¸ñÁ¢Áö´ë µîÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÎü¿¡ Á¢ÁöÇÑ´Ù.